Vákuové komponenty

Tepelné spracovanie zahŕňa najmä procesy oxidácie, difúzie a žíhania.Oxidácia je aditívny proces, pri ktorom sa kremíkové doštičky vkladajú do vysokoteplotnej pece a pridáva sa kyslík, aby s nimi reagoval za vzniku oxidu kremičitého na povrchu doštičky.Difúzia spočíva v presune látok z oblasti s vysokou koncentráciou do oblasti s nízkou koncentráciou prostredníctvom molekulárneho tepelného pohybu a proces difúzie možno použiť na dopovanie špecifických dopingových látok v kremíkovom substráte, čím sa mení vodivosť polovodičov.